ACM 리서치, 주요 IC 제조사에서 ECP 데모 장비 수주
ACM 리서치가 Ultra ECP map 장비를 수주했다
ACM 리서치의 대표이사 CEO인 데이비드 왕(David Wang) 박사는 “아시아 기반의 또 다른 주요 반도체 제조사에서 첨단 공정 개발을 위해 Ultra ECP map 장비 평가판을 수주하게 돼 매우 기쁘다”며 “이번 장비 주문은 ACM의 기술 선도력과 현지 지원팀, 그리고 점점 더 확대되는 생산 규모를 입증한 것이다. 이 장비에 대한 평가를 성공적인 완료함으로써 우리는 이 고객사는 물론, 이 지역의 다른 주요 고객들과도 더 많은 비즈니스 및 협력 기회를 이어 나갈 수 있을 것으로 믿는다”고 말했다.
ACM의 Ultra ECP map은 업계에서 이미 검증된 전기화학도금(ECP) 기술을 기반으로 한다.
이 장비는 ACM의 다중 양극 부분 구리 도금 기능(Multi-Anode partial plating function)을 지원해 첨단 기술 노드에서 듀얼 다마신(dual damascene) 구조 위에 구리 금속층 증착이 가능하도록 한다. 또한 이 장비는 소모품 비용과 소유 비용을 최소화하면서 초박형 시드층(seed layer)과 호환성을 보장하고, 높은 처리량을 달성할 수 있도록 설계됐다.
ACM 리서치(ACM Research, Inc.) 개요
ACM은 싱글 웨이퍼 또는 배치 습식 세정을 위한 반도체 공정 장비를 개발, 제조 및 판매하고 있으며, 전기 도금, 무응력 광택 및 열 공정 등은 첨단 반도체 소자 제조 및 웨이퍼 레벨 패키징에 매우 중요한 공정이다. 회사는 반도체 제조업체들이 생산성과 제품 수율을 향상하기 위해 수많은 제조 단계에서 사용할 수 있는 고성능의 비용 효율적인 맞춤형 공정 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있다. 자세한 정보는 홈페이지에서 참조하면 된다. ACM 로고는 ACM Research, Inc.의 상표다. 편의를 위해 이러한 상표는 본 발표에 ™ 기호 없이 나타나지만, 그러한 관행으로 ACM이 해당 상표에 대한 권리를 완전히 주장하지 않는 것은 아니다.
ACM 리서치 홈페이지: https://www.acmrcsh.com/
웹사이트: https://www.acmrcsh.com/
연락처
ACM 리서치 홍보대행
페리엔
박윤희 실장
02-565-6625
이메일 보내기
이 보도자료는 ACM 리서치 코리아가(이) 작성해 뉴스와이어 서비스를 통해 배포한 뉴스입니다.
-
4월 7일 13:19
