주성, 원자층증착장치 세계 일류상품 선정
원자층증착장치는 기존 화학증착장치를 대체하는 제품으로 0.10㎛ 이하의 설계에는 필수적으로 요구되며 신규 반도체 라인 투자 및 기존 반도체 라인의 보완 투자로 인해 수요가 빠르게 증대되고 있는 차세대 반도체 장치이다.
주성 관계자는 주성의 원자층증착장치가 탁월한 막 품질을 낼뿐 아니라 200mm 또는 300mm 웨이퍼 4장을 동시에 처리할 수 있는 세미 배치 타입(Semi-batch type)으로 설계되어 기존 원자층증착장치의 낮은 생산성 한계를 대폭 극복하였기 때문에 지난해 국내 하이닉스 반도체 양산라인 및 미국, 유럽, 대만, 일본의 주요 반도체 회사에 공급되어 좋은 평가를 받고 있으며 지속적인 반복수주가 이어지고 있다고 밝혔다.
주성 제품의 세계일류상품 선정은 이번이 2번째로 전세계 시장 점유율 50%이상을 기록했던 주성의 HSG LPCVD장치가 지난 2001년 산자부의 세계 일등상품으로 선정된 바 있다. 이는 주성의 우수한 기술력을 공식적으로 인정 받은 것과 동시에 주성의 중장기 사업목표인 World’s Best Products, World’s Best Company의 실현이 구체적으로 현실화되고 있음을 단적으로 보여주는 것으로 평가할 수 있다.
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